根據DINE一看NISO14644-1标準,潔淨室根據空氣中單位體積内含有的吃信粒子數量來劃分潔淨等級。潔淨空氣的等級通過(guò)測量粒子的濃度來确定費小。如果測量出的粒子濃度值小于指定大小的粒子規定的濃度限值,則被雪資(bèi)視爲達标。
粒子可低林以是固體或液體形式。對(duì)于某些特别敏感的工藝流樂木程,如單個部件的生産過(guò)程中所使用的油脂産生的蒸發(fā)物,也可謝工能(néng)産生不利影響。用于潔淨室的起(qǐ)重裝置和小車必相見須經(jīng)特殊設計和制造,使其在運行過(guò)程中不會(huì)産生西爸粒子,尤其要避免因摩擦、腐蝕或震動形成(chéng)的顆粒。德馬格經見明(jīng)典的DC環鏈電動葫蘆和鋁合金軌道(dào湖習)組成(chéng)的輕型起(qǐ)重機可應用于高達萬級的潔淨室。
采用鋁合金軌道(dào)應用于潔淨室,鋁合金軌道(dà她知o)表面(miàn)經(jīng)陽極氧化處理,經(jīn訊是g)久耐用,可防止周圍環境腐蝕和沖擊,有子讀效避免了起(qǐ)重機因腐蝕産生粒子。鋁合金軌道(d房費ào)自重低,輕質的鋁軌型材與運行順暢的小車結合,使起(qǐ)重機運行答麗極爲順暢,隻需稍稍用力就(jiù)能(néng)讓載荷快速移動和制動,避免了裡廠起(qǐ)重機因震動産生粒子。KBK鋁合金軌道(d去兵ào)起(qǐ)重機采用優質尼場低龍行走輪,無需特殊措施即可适用于美一潔淨室。封閉式起(qǐ)重機端梁以滿足萬級潔淨室要求